真空泵的問與答

1、Q：真空泵有什么用？

  A：真空泵的作用就是從真空腔體中抽除氣體分子，降低真空腔體內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。

2、Q：每個腔體選擇一種真空泵就行了嗎？

   A：從大氣到*真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一 種真空泵能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置，科銳詩汀可以提供的真空泵就包括：前級泵（各種旋片泵，干泵）、維持泵（羅茨泵）、擴散泵、分子泵、離子泵等等全系列。

 3、Q：選擇真空泵時要注意哪些參數？

    A: a、工作真空范圍: 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。 

b、確定極限真空度：系統的極限真空度決定了系統的佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。 

c、被抽氣體種類與抽氣量：如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。 

d、真空容積：同時確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。 

e、抽氣速率：考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

4、Q：真空泵的選型需要注意些什么？

A: 選用真空泵時需要注意以下事項：  

1. 真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10^-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10^-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。
2. 正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10^-3~10^-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為5×10^-4~5×10^-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10^-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10^-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10^-5mmHg為好。
3.  真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4. 正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵（例如科銳詩汀代理的普發分子泵）不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
5. 真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種干泵，還有水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
6. 了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
7. 真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選干泵，或者把油蒸氣排到室外。
8. 真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

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深圳市科銳詩汀科技有限公司代理以下真空泵產品：

    1、美國安捷倫（Agilent Technologies)的旋片泵、干泵、羅茨泵、分子泵、分子泵機組、擴散泵、離子泵。
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