LINXON myRGA四極質譜分析儀簡訊

LINXON 是真空儀器的全新*品牌, 由真空行業創新儀器的供應者 INFICON 設計和制造。LINXON myRGA  四極質譜儀以的高性價比提供高性能設備, 通過精選的本地合作伙伴（科銳詩?。╀N售, 并可以通過視頻教程對常見問題進行解答, 滿足普通真空和科研市場的生產、研發、集成和支持的需求。

LINXON myRGA的優勢

1. 可靠的殘余氣體分析儀,以非常優惠的價格提供空氣泄漏和污染檢測所需的性能。
2. 使用 myRGA, 無需安裝軟件。 該儀器由集成的機載網頁服務器，通過網頁瀏覽器操作, *獨立于您的操作系統。通過 PC, 平板電腦或智能手機訪問 myRGA的機載網頁，服務器可動態適應您的屏幕尺寸和分辨率. 如您愿意使用 LabVIEW 軟件操作 LINXON myRGA, 隨機附有 LabVIEW 軟件開發套件. 使用提供的 LabVIEW 驅動程序示例來定制軟件,滿足您的需求。
3. 軟件可提供中英文雙語種，為英文或中文不佳的用戶提供多種選擇。
4. 適用于多種細分行業，例如：真空鍍膜行業。

與使用哪種 PVD 類型的過程 (EB-PVD, IB-PVD, 或標準 PVD) 無關, LINXON myRGA 均可提供與任何其他監測方法不同的系統視圖。無論是監測工藝室是否漏氣, 還是監測氣體管線是否被污染，如果您需要找出工藝室未 達到基本真空的原因, 可使用內置的檢漏功能有效地查找泄漏所在。

熱處理，任何低壓熱處理應用都可受益于使用 LINXON myRGA。如對某特定氣體是否與所用的金屬發生相互作用有疑問,  myRGA 可監測其質量數, 并顯示其存在和相對含量。 myRGA 還可用于實時泄漏監測或在基本壓強下的手動檢漏。

1. 新型通道式電子倍增器，延長使用壽命, 提供比法拉第杯 (FC) 高的靈敏度和高的增益。新傳感器設計提供了可現場更換電子倍增器 (EM) (如配備) 的附加好處. 在定期的維護日程內可現場快速更換 EM。
2. 用于 myRGA 傳感器的現代化離子源設計將兩根燈絲集成在陽極, 陰極和反射極的組裝件中，雙燈絲設計中包含一根可使 RGA 具有大上線時間的備用燈絲。使用 myRGA, 還可獲得特定應用的燈絲選擇 (鎢絲用于含鹵素的過程或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程), 增加燈絲的壽命. 更換 myRGA 中的燈絲套件相當于更換傳統 RGA的整個離子源, 節約成本, 從而大大地降低總體擁有成本。

    例如：UHV 電子束成長市場，工藝制程監控及污染物的探測, RGA 是*的，其成長過程可持續 9 個月或更長，在真空狀態下不能因為燈絲損壞而中斷真空，采用LINXON myRGA可以很好地解決這個問題。

1. LINXON myRGA的另一個關鍵特征是能夠在與質譜儀并行運行的同時測量總壓強. 這個壓強測量 可用于燈絲的保護。
2. 新型饋入件結構便于連接電子單元控制器。
3. TCP/IP 以太網連接，可通過以太網現場固件升級?；诨ヂ摼W瀏覽器平臺可觀察多個屏幕 ，例如在UHV 加速器/對撞機市場，可以很方便地實現監測、檢漏、診斷、調諧等功能。
4. 高速數據收集為好的統計學的制程控制 (SPC) AEC/APC給出多的統計數據?，F代化的電子單元，具有超快數據收集 1 毫秒測量時間，意味著在工藝制程中關鍵點收集更多的數據點，提高數據分辨率用于真空閥件的檢漏, 當需要時給出更多的數據點。

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