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GE50A彈性密封數字型質量流量控制器

簡要描述:GE50A是通用型彈性密封流量控制器,適合流量范圍在5SCCM至50SLM的各種氣體流量控制。該GE50A控制器采用了的數字流量控制的電子原件及技術的熱傳感器和機械設計。

  • 產品型號:MKS/GE50A
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-04-07
  • 訪  問  量:2713
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GE50A彈性密封數字型質量流量控制器


GE50A是通用型彈性密封流量控制器,適合流量范圍在5SCCM50SLM的各種氣體流量控制。該GE50A控制器采用了的數字流量控制的電子原件及技術的熱傳感器和機械設計。

GE50A數字流量控制器可用于模擬和數字I/O,采用的MKS控制算法,對設備設定控制范圍提供快速、重復性好響應。典型的反應時間是500毫秒的量級,包括一個相對于精度1%的標定氣體的數字校準功能。能*替代那些相同的I/ O類型的1179A流量計,所有的GE50A都包括MODBUS備用I/O。

GE50A使用廣泛用于流量為5SCCM50SLM的流量計的3英寸標準尺寸,無需修改現有的氣體管線配置。GE50A設計采用了zui小的使用彈性體,只有一個外彈性體密封件和彈性體閥塞。所有的濕潤表面是金屬的,根據不同的氣體可選擇Viton、Neoprene、Kalrez等密封方式,閥門可選擇常閉或常開。


特點和優點:

  1. 的熱傳感器設計提供了優越的穩定性。

  2. 出廠校準使質量流量計控制更精準。

  3. 提供嵌入式用戶界面:

  • 能輕松更改控制范圍,減少氣體庫存。

  • 顯示裝置實用且能現場收集數據。

4、多選擇的通信方式(Ethercat、Devicenet、Profibus、RS485、模擬(05VDS或者420mAI/O

5、有CE標志和歐盟ROHS認證。




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